随着现代工业的快速发展，污染离子在垫层中的运移问题越来越受到人们的重视，采用COMSOL Multiphysics 多物理场耦合分析软件建立基于宏观PNP多离子运移的参数反分析模型，借助有约束的非线性最优化和多种群遗传算法求解，编制了相应的MATLAB和COMSOL程序，并采用有限元正反分析进行了验证。该软件可以使用图形用户界面创建复杂的模型，并将之直接存储为M文件，通过COMSOL with MATLAB可以对M文件进行编辑、扩展以及执行，对有特殊需求的二次开发相当方便。